[19a-Z18-1~12] 12.4 有機EL・トランジスタ

△ [19a-Z18-7] 塗布型有機単結晶膜の転写パターニングによる高性能CMOS論理回路開発

〇牧田 龍幸^1,2、臼井 大登¹、二宮 陽真¹、熊谷 翔平¹、辻村 秀太¹、山下 侑^1,3、岡本 敏宏^1,2,4、佐々木 真理¹、渡邉 峻一郎^1,2、竹谷 純一^1,2,3 (1.東大院新領域、2.OPERANDO-OIL、3.物材機構、4.JSTさきがけ)

キーワード：有機半導体、有機トランジスタ、CMOS

有機半導体は塗布法によって高性能な薄膜作製が可能であることから次世代電子デバイスの基盤材料として期待されている。半導体膜を論理回路で利用するためには、各素子を電気的に孤立させるためのパターニングが重要である。本研究では、凹凸形状を有するマイクロスタンプと塗布型有機半導体単結晶薄膜の転写法を組み合わせたパターニング手法を新たに開発し、高性能なCMOS論理回路作製を行った。