[19a-Z29-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-Z29-5] 窒化膜から導入されたシリコン基板中の水素の熱的挙動

〇棚橋 克人¹、白澤 勝彦¹、平藤 駿介²、高遠 秀尚¹ (1.産総研、2.京セラ)

キーワード：シリコン、水素、熱的挙動