[19a-Z29-1~9] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19a-Z29-9] シリコン結晶中の低濃度炭素の測定(ⅩⅩII) 赤外吸収測定法規格の改訂再開

〇井上 直久¹、奥田 修一¹、川又 修一¹ (1.大阪府大研究推進)

キーワード：シリコン結晶、炭素濃度、赤外吸収

SEMI規格は炭素の低濃度化に合わせてJEITAの成果に基づきshort baselineを導入する改訂が中断している。我々は13乗までポリシリコンも測れる第二世代技術を、先進メーカと協力して開発し実用としたので、2019年にその後の進展を報告して改訂作業を再開し、技術を入れた原案を作成した。さらにあいまいさを無くすための検出下限や波数分解能などの定義の見直しや、現場での測定に適した作業の設定などの検討を進めている。