2021年第68回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

21 合同セッションK「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」 » 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

[19a-Z33-1~12] 21.1 合同セッションK 「ワイドギャップ酸化物半導体材料・デバイス」

2021年3月19日(金) 09:00 〜 12:15 Z33 (Z33)

宇野 和行(和歌山大)、大島 祐一(物材機構)

09:45 〜 10:00

[19a-Z33-4] 顕微ラマンマッピング測定による酸化ガリウム結晶の微細構造評価

〇(M1)中西 雅彦1、飯塚 万友1、庄司 昂平1、桝谷 聡士2、嘉数 誠3、山口 智広1、本田 徹1、佐々木 公平2、倉又 朗人2、尾沼 猛儀1 (1.工学院大、2.ノベルクリスタルテクノロジー、3.佐賀大)

キーワード:酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、ラマンマッピング

β-Ga2O3結晶に対しラマンマッピング測定を行い、ラマン散乱強度分布から微細構造の可視化を試みた。β-Ga2O3には無極性光学フォノンとして10個のAgモードと5個のBgモードがあるが、全て800 cm-1以下に観測された。また、1300 cm-1付近にはブロードなピークが観測された。光学顕微鏡像、Ag(1)、Ag(3)、1300 cm-1でのラマンマッピング像の比較を行った。その結果、光学顕微鏡では観測できない微細構造を、顕微ラマンマッピングにより可視化することができた。