09:45 〜 10:00
[19a-Z33-4] 顕微ラマンマッピング測定による酸化ガリウム結晶の微細構造評価
キーワード:酸化ガリウム、ショットキーバリアダイオード、ラマンマッピング
β-Ga2O3結晶に対しラマンマッピング測定を行い、ラマン散乱強度分布から微細構造の可視化を試みた。β-Ga2O3には無極性光学フォノンとして10個のAgモードと5個のBgモードがあるが、全て800 cm-1以下に観測された。また、1300 cm-1付近にはブロードなピークが観測された。光学顕微鏡像、Ag(1)、Ag(3)、1300 cm-1でのラマンマッピング像の比較を行った。その結果、光学顕微鏡では観測できない微細構造を、顕微ラマンマッピングにより可視化することができた。