[19p-P02-1~22] 17 ナノカーボン(ポスター)

[19p-P02-11] 気体雰囲気中におけるMoS₂ FETの電気伝導特性変化

〇道祖尾 恭之¹、M.S. Al. Mamun¹、高岡 毅¹、和泉 廣樹¹、Z. Wang¹、M. I. Alam¹、田中 悠太¹、高橋 巧成¹、安藤 淳²、荒船 竜一²、米田 忠弘¹ (1.東北大、2.産総研)

キーワード：MoS2 FET

MoS₂ベースのFETの電気伝導特性は、環境ガスや電極の接触抵抗などの外因性効果に影響を受けやすく、特に大気中の水分がFETの特性の不安定性につながることが明らかにされてきた。
本発表では、気体雰囲気中におけるMoS₂ FETの電気伝導特性変化について報告する。デバイスチャンネル表面の水分子を十分に除去するためにデバイスを加熱しながら真空槽内を真空排気して高真空（HV；10^-6 Pa）雰囲気から一気圧までの範囲で酸素・窒素ガス雰囲気中におけるMoS₂ベースFETの電気伝導特性をヒステリシス曲線の測定により評価した。