[19p-Z02-1~10] CS.7 8.3 プラズマナノテクノロジー、9.2 ナノ粒子・ナノワイヤ・ナノシート、13.6 ナノ構造・量子現象・ナノ量子デバイスのコードシェアセッション

[19p-Z02-3] 波長混合励起金ナノ粒子プラズモンによるシリコンのラジカル窒化

〇北嶋 武¹、三宅 万智子¹、桑田 渉真¹、中野 俊樹¹ (1.防大電気)

キーワード：プラズマ、プラズモン、金ナノ粒子

金ナノ粒子プラズモンを活用した触媒反応が近年活用されている。我々は金ナノ粒子から供給されるホットエレクトロンをプラズマ表面反応へ応用し、良質な極薄膜形成への活用を図ってきた。今回はプラズモン励起用可視光とプラズマVUV発光の混合効果に注目し、ラジカル窒化を促進する緑色光励起の効果を発見したので報告する。