[19p-Z04-1~12] 3.4 生体・医用光学

[19p-Z04-1] a-Si:H薄膜を用いたフレキシブル脈波センサーに関する研究

〇(M1)岩崎 真也¹、花房 宏明¹、佐藤 拓磨¹、東 清一郎¹ (1.広大院先進理工)

キーワード：水素化アモルファスシリコン、フレキシブルエレクトロニクス、フォトセンサー

近年、フレキシブルエレクトロニクスは生体・医療向けウェアラブルデバイスへの応用が期待されている。そこで本研究では、緑の波長に対する水素化アモルファスシリコン(a-Si:H)と血中酸化ヘモグロビンの光吸収係数が高いことを利用し、緑色LED発光部とa-Si:H受光部による生体貼り付け型の反射型フレキシブル脈波センサーの作製を目的としている。本報告では、a-Si:H膜に対する低抵抗コンタクトの形成と脈波の検知に必要な特性の見積もりを行った。