[19p-Z07-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-Z07-3] フェムト秒レーザ還元Cuパターニングにおける酸化抑制

〇吉冨 恭平¹、溝尻 瑞枝¹ (1.長岡技科大)

キーワード：フェムト秒レーザ還元焼結、Cuパターニング、酸化抑制

フェムト秒レーザ還元Cuパターニングにおいて．酸化抑制のための雰囲気制御とパルスバースト照射による還元度特性評価を行った.CuOナノ粒子ペースト膜に近赤外フェムト秒レーザパルスを集光照射したところ，雰囲気制御下では， N₂，Arガス噴射量0-125 mL/minで作製したパターンにおいて，還元度の向上に成功した．パルスバースト照射では，周波数0.80 MHz，パルス数20-100で描画し，熱拡散の抑制を実現した．