[19p-Z07-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[19p-Z07-6] ライン整形されたフェムト秒レーザーパルスにより加工された溝のインプロセス形状計測

〇長谷川 智士¹、藤本 正俊²、渥美 利久²、早崎 芳夫¹ (1.宇都宮大、2.浜松ホトニクス)

キーワード：フェムト秒レーザー加工、整形ビーム、インプロセス計測

空間光変調器により生成された整形ビームは，半導体やガラス基板のビア加工や，ダイシングのためのスクライブ加工に用いられている.これらの応用において，ビア深さや溝深さの制御は，加工の高品質化において重要である.加工深さの制御のために，加工形状をインプロセスで計測できれば， 所望の深さが得られるようにレーザー照射パラメータをフィードバック制御することが可能となる.本研究では，SLM による整形ビームを用いたレーザ ー加工における加工深さのインプロセス計測を報告する.