[19p-Z08-1~14] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

△ [19p-Z08-12] Metal-Insulator-Metalメタマテリアル構造を応用した潤滑膜厚計測法の検討

〇岡谷 泰佑¹、金森 義明¹ (1.東北大工)

キーワード：メタマテリアル、金属/誘電体/金属、膜厚計測

近年，エネルギー問題の要請から潤滑油の低粘度化が進み，分子レベルの吸着膜等による超薄膜潤滑への期待が高まっている。本研究では，潤滑膜をMetal-Insulator-Metalメタマテリアル構造における誘電体層とみなし，その厚み変化を共振波長変化として捉える潤滑膜厚の計測法について，厳密結合波解析により検討する。当日はシミュレーション結果の詳細と潤滑膜厚計測の応用可能性について報告する。