[19p-Z08-1~14] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19p-Z08-5] 水素アニール法で製作されたSiナノ微小球を用いた誘電体光メタマテリアル

〇金森 義明¹、岡谷 泰佑¹、阿部 洋輔¹、羽根 一博¹ (1.東北大工)

キーワード：メタマテリアル、水素アニール、Siナノ微小球

金属物質で構成されるメタマテリアルは可視光領域でオーム損失が大きくなることから、高誘電体のSiナノ微小球で構成される誘電体光メタマテリアルが新たに提案されている。電子ビーム描画と水素アニール法を用いて直径100~200 nmのSiナノ微小球を任意の場所及び直径で製作する技術を開発した。今回、水素アニール法で製作されたSiナノ微小球を用いた誘電体光メタマテリアルの特性を報告する。