[19p-Z08-1~14] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[19p-Z08-5] Dielectric Optical Metamaterials Using Silicon Nanospheres Fabricated by Hydrogen Annealing

〇Yoshiaki Kanamori¹, Taiyu Okatani¹, Yosuke Abe¹, Kazuhiro Hane¹ (1.Tohoku Univ.)

Keywords:metamaterial, hydrogen annealing, silicon nanospheres

金属物質で構成されるメタマテリアルは可視光領域でオーム損失が大きくなることから、高誘電体のSiナノ微小球で構成される誘電体光メタマテリアルが新たに提案されている。電子ビーム描画と水素アニール法を用いて直径100~200 nmのSiナノ微小球を任意の場所及び直径で製作する技術を開発した。今回、水素アニール法で製作されたSiナノ微小球を用いた誘電体光メタマテリアルの特性を報告する。