[19p-Z08-1~14] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[19p-Z08-6] 誘電体メタサーフェスの大面積作製の検討：ナノインプリントによる高屈折率樹脂ナノ構造の直接パターニング

〇鴻野 晃洋¹、宮田 将司¹、橋本 俊和¹、小松 武志¹ (1.NTT先デ研)

キーワード：ナノインプリント、メタサーフェス、高屈折率樹脂

誘電体ナノ構造から構成される光メタサーフェスは、光の位相や偏光状態、波長分散などに対して多様な制御性を有している。一方、作製においては、電子ビームリソグラフィとエッチングといった半導体プロセスを用いており、低コストかつ大面積の作製が困難であった。そこで我々は、誘電体メタサーフェスの大面積作製にむけて、光ナノインプリントによる誘電体ナノ構造の直接パターニングを検討したので報告する。