[19p-Z08-1~14] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[19p-Z08-6] Direct Patterning of High Refractive Index Resin Nanostructures by Nanoimprinting for Scalable Fabrication of Dielectric Metasurfaces

〇Akihiro Kohno¹, Masashi Miyata¹, Toshikazu Hashimoto¹, Takeshi Komatsu¹ (1.NTT Device Technology Labs.)

Keywords:nanoimprint, metasurface, high refractive index resin

誘電体ナノ構造から構成される光メタサーフェスは、光の位相や偏光状態、波長分散などに対して多様な制御性を有している。一方、作製においては、電子ビームリソグラフィとエッチングといった半導体プロセスを用いており、低コストかつ大面積の作製が困難であった。そこで我々は、誘電体メタサーフェスの大面積作製にむけて、光ナノインプリントによる誘電体ナノ構造の直接パターニングを検討したので報告する。