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[19p-Z08-8] 色分離マイクロメタレンズを用いたイメージセンサ:受光性能の見積り
キーワード:メタサーフェス、イメージング、メタレンズ
一般的なカラーイメージセンサでは,色情報の取得のため,吸収型カラーフィルタが画素毎に集積されている.そのため,総受光量が入射光量の30%程度に制限されており,センサ感度の向上において障壁となっている.最近,我々は色分離機能と集光機能を兼ね備えた色分離マイクロメタレンズの設計と実証に成功した.今回,上記メタレンズのセンサへの集積による受光性能への影響を計算的に評価したので報告する.