[19p-Z10-1~15] 3.11 フォトニック構造・現象

[19p-Z10-1] フォトニック結晶レーザーモノリシックアレイの空間合波系の構築

〇榎 健太郎^1,2、井上 陽子²、河崎 正人^1,2、國師 渡³、吉田 昌宏¹、井上 卓也¹、De Zoysa Menaka¹、石崎 賢司¹、初田 蘭子¹、野田 進¹ (1.京大院工、2.三菱電機、3.ローム)

キーワード：フォトニック結晶レーザー

フォトニック結晶レーザー [1,2] は，2次元フォトニック結晶のバンド端共振効果を活用した，大面積コヒーレント半導体レーザーである．これまで，高輝度（=高出力・高ビーム品質）動作を可能とする二重格子フォトニック結晶構造を提案し，大面積（直径500µm以上）の発振領域をもつデバイスにおいて，10～100W級の高出力・高ビーム品質動作を実現している [2-4]．ここで，フォトニック結晶レーザーを加工用途等に適用するためには，素子出力の更なる増大に加え，複数素子の出力を束ねる合波システムの構築も重要と言える．今回我々は，直径500µmのフォトニック結晶レーザー7素子を2次元六方格子状に配置したモノリシックアレイの合波系を構築し，空間合波のPOCに成功したので報告する．