[19p-Z10-1~15] 3.11 フォトニック構造・現象

[19p-Z10-10] 機械学習を用いて設計したSiO₂埋め込み型ナノ共振器の作製・評価

〇柴田 武志¹、浅野 卓¹、野田 進¹ (1.京大院工)

キーワード：フォトニック結晶ナノ共振器、機械学習

我々は2次元フォトニック結晶を用いた光ナノ共振器の高Q値化に，理論と実験の両面から取り組んでいる．今回は光閉じ込めに関しては不利な誘電体埋め込み型の共振器に関して，機械的強度向上や電気制御用配線の導入上の利点から，そのQ値向上の検討を行った．機械学習に基づいて共振器構造を設計して実際に作製した結果，実験Q値184万を実現し，SiO₂埋め込み型光ナノ共振器においてこれまで報告されている最高実験Q値を更新した．