[19p-Z10-1~15] 3.11 Photonic structures and phenomena

[19p-Z10-12] The mode modulation by selectively loaded Ge₂Sb₂Te₅ film on photonic crystals

〇Takahiro Uemura^1,2, Hisashi Chiba^1,2, Taiki Yoda², Yuto Moritake^1,3, Yusuke Tanaka², Masaya Notomi^1,2,4 (1.TokyoTech, 2.NTT BRL, 3.JST Presto, 4.NTT NPC)

Keywords:photonic crystal, phase change material

相変化材料であるGe₂Sb₂Te₅(GST)は、常温でアモルファス相と結晶相の2つの安定相を持ち、両相で大きな屈折率および消衰係数コントラストを持つ。Si細線やリング共振器等への、数μmスケールでのGST装荷およびモード変調は報告されているが、フォトニック結晶上への数百nmスケールでの装荷例はない。今回、フォトニック結晶共振器上に数百nm四方のGSTパタンを装荷し、相変化による共振モード波長とQ値の変化を確認したので、報告する。