[19p-Z10-1~15] 3.11 Photonic structures and phenomena

△ [19p-Z10-15] Investigation on Er,O codoped GaAs microtoroid resonators fabricated by focused ion beam etching

〇(PC)Masayuki Ogawa¹, Tomohiro Hirate¹, Sotaro Nakamoto¹, Ryohei Homi¹, Hiromasa Hanzawa³, Dolf Timmerman¹, Shuhei Ichikawa^1,2, Jun Tatebayashi¹, Yasufumi Fujiwara¹ (1.Grad. Sch. Eng. Osaka Univ., 2.Res. Ctr. for Ultra-High Voltage Electron Microscopy Osaka Univ., 3.Grad. Sch. Eng. Sci. Osaka Univ.)

Keywords:rare-earth, microtoroid, gallium arsenide

我々のグループでは、光通信用波長安定化光源としてEr,O共添加GaAsを発光層とするデバイスについて光学特性の評価を⾏っている。既に我々はEr,O共添加GaAsを⺟体としたマイクロディスク共振器の動作実証を報告したが、⾼次の共振器モードが多数発⽣し、Er³⁺イオンの発光強度増⼤のメカニズム解明の妨げとなった。今回、⾼次モードの発⽣の抑制を目指しディスク中心部を集束イオンビーム加⼯により掘下げることによるマイクロトロイド共振器構造を提案したので報告する。