[19p-Z13-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

△ [19p-Z13-14] シングルドメインPb(Zr, Ti)O₃薄膜の電気光学効果

〇近藤 真矢^1,2、山田 智明²、吉野 正人²、岸本 昭¹、寺西 貴志¹、長崎 正雅² (1.岡山大院自然、2.名大工)

キーワード：強誘電体薄膜、電気光学効果、チタン酸ジルコン酸鉛

これまでPb(Zr, Ti)O₃ (PZT) の電気光学 (EO) 特性は、シングルドメイン構造のEO係数がPbTiO₃のみで報告されており、組成相境界近傍の組成や多結晶構造の膜での研究が多く、内因的なEO応答の評価がなされていなかった。そこで、本研究では熱膨張係数の大きなCaF₂基板上でバッファー層を用いることでPZT薄膜を作製し、初めてシングルドメイン構造のPZTのEO特性の評価を行ったので、その結果を報告する。