[19p-Z13-1~14] 6.1 強誘電体薄膜

[19p-Z13-5] スパッタリング法によるY-HZO強誘電体厚膜の室温製膜とその電気特性および圧電特性評価

〇(PC)志村 礼司郎¹、三村 和仙¹、舘山 明紀¹、清水 荘雄^1,2、白石 貴久¹、舟窪 浩¹ (1.東工大物院、2.物質・材料機構)

キーワード：HfO2基強誘電体、圧電膜、厚膜