[19p-Z13-1~14] 6.1 Ferroelectric thin films

[19p-Z13-8] STEM-EELS analysis on epitaxial growth mechanism of PZT thin films by CSD method

〇Takanori Kiguchi¹, Masaya Aihara¹, Naoki Shibuya¹, Takahisa Shiraishi^1,2, Toyohiko J. Konno¹ (1.Tohoku Univ., 2.Tokyo Tech.)

Keywords:ferroelectrics, local structure, STEM-EELS

化学溶液堆積(CSD)法によるSrTiO₃基板上へのPb(Zr,Ti)O₃強誘電体薄膜の結晶成長において、低温加熱した非晶質前駆体内部の短距離秩序と界面に沿った2次元長距離秩序を伴う界面層の形成をSTEM-EELS法により見出し、CSD法による酸化物エピタキシャル成長初期段階のメカニズムを明らかにしました。