[19p-Z14-1~18] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [19p-Z14-17] Ta添加液体金属合金の表面酸化膜を用いた抵抗変化型素子の特性評価

〇前田 直輝¹、番 貴彦¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大理工)

キーワード：液体金属合金、抵抗変化型素子

Gaは融点が30℃の液体金属であり、高い電気伝導率や熱伝導率などに加えて高い柔軟性も持つ材料である。本研究ではGa,In,Snを68.5:21.5:10.0の割合で合金化したものにTaを1wt添加した液体金属合金を用いて抵抗変化型素子を作製した。I-V特性評価を行ったところ、50回以上の抵抗変化動作を確認した。また液体金属合金の表面酸化膜の転写に成功した。