[19p-Z14-1~18] 6.3 Oxide electronics

△ [19p-Z14-3] Synthesis of Stoichiometric SrTiO₃ epitaxial thin films from a bimetallic complex

〇Daichi Oka¹, Ebube Oyeka¹, Eunsang Kwon², Tomoteru Fukumura^1,3 (1.Tohoku Univ., 2.Tohoku Univ. RACGM, 3.Tohoku Univ. AIMR & CRC)

Keywords:semiconductor, Epitaxial thin film, SrTiO3

近年、SrTiO₃などの３元系酸化物薄膜においてカチオンの正規組成を厳密に制御すると特性が大幅に向上することが明らかになった。本研究では一分子中に同数のSr・Ti原子を含む新しい二核錯体を開発し、それを原料として大気下の溶液プロセスで正規組成のSrTiO₃エピタキシャル薄膜を合成することに成功したので報告する。