[19p-Z14-1~18] 6.3 酸化物エレクトロニクス

△ [19p-Z14-6] 層状岩塩型LiNiO­₂薄膜のエピタキシャル成長

〇矢島 達也¹、相馬 拓人¹、大友 明^1,2 (1.東工大物質理工、2.元素戦略)

キーワード：層状岩塩型構造、LiNiO2、パルスレーザ堆積法

様々な研究がされてきた層状岩塩型LiNiO₂において報告のないエピタキシャル薄膜成長をPLD法を用いて行った．薄膜成長時の加熱有無に関わらず合成直後には層状構造に起因する回折ピークが見られなかったが，大気下でのアニールにより層状構造が形成された．基板を加熱して薄膜合成した場合はポストアニールによりLi欠損を示唆するピークシフトが観察され，薄膜成長過程でのLi欠損の抑制が重要であると分かった．