[19p-Z15-1~11] 6.4 薄膜新材料

[19p-Z15-5] Ru³⁺を持つ新規層状酸フッ化物Ca₂RuO_2.5F₂薄膜の作製

〇近松 彰¹、福間 翔太¹、片山 司¹、丸山 敬裕¹、柳澤 圭一²、木本 浩司²、北村 未歩³、堀場 弘司³、組頭 広志^3,4、廣瀬 靖¹、長谷川 哲也¹ (1.東大理、2.NIMS、3.KEK、4.東北大多元研)

キーワード：酸フッ化物、ルテニウム酸化物