[19p-Z17-1~17] 8.4 プラズマライフサイエンス

[19p-Z17-5] イオン計測による大気圧プラズマジェットの活性種分析

〇長門 研吉¹、栗田 弘史²、高島 和則² (1.高知高専、2.豊橋技科大)

キーワード：大気圧プラズマ、反応活性種、質量分析法

大気圧プラズマで生成する気相反応活性種の分析方法として、質量分析法を用いたイオン計測を進めてきた。その結果多くの反応活性種がイオン反応に関与していることが明らかになってきた。イオン計測によって情報が得られる活性種の種類について述べるとともに、質量分析法による活性種分析の利点について説明する。