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[19p-Z17-7] 【注目講演】空気誘電体バリア放電プラズマによる五酸化二窒素の選択生成
キーワード:五酸化二窒素、大気圧空気プラズマ、プラズマバイオ応用
近年,低温で活性酸素・窒素種をその場で供給できる非平衡大気圧プラズマを用いた医療・農業応用など,空気由来の活性種を電力のみで合成するプラズマ技術への期待が高まっている.従来その組成比の制御性が乏しかった五酸化二窒素を,(A)10倍以上の選択比で供給,(B)同程度の密度のオゾンや安定NOxとの混合気として供給,または(C)オゾンか安定NOxを供給することを,空気のみを原料として電気的制御で選択できる活性種選択供給プラズマ源を新たに開発したので,その反応過程の詳細を含めて報告する.