[19p-Z22-1~16] 3.13 Semiconductor optical devices

[19p-Z22-3] Two section tunable surface grating VCSEL

〇Shunsuke Kanja¹, Keisuke Shimura¹, Xiaodong Gu¹, Masanori Nakahama¹, Fumio Koyama¹ (1.Tokyo Tech. FIRST)

Keywords:VCSEL

面発光レーザを用いたビーム掃引デバイスはLiDARなどへの応用が期待されている． DBR導波路を用いて波長を可変することでビーム掃引を行い，解像点数1000点以上になることが確認されている．また表面回折格子を装荷したVCSELで0.5W以上の光出力の光偏向器集積光源を実現している．.本研究は，高出力かつ高解像度な非機械式ビーム掃引デバイスの実現を目的として，回折格子を装荷した波長可変面発光レーザの試作と評価を行った．