[19p-Z22-1~16] 3.13 半導体光デバイス

[19p-Z22-3] 表面回折格子を有する2電極波長可変面発光レーザ

〇冠者 駿助¹、志村 京亮¹、顧 暁冬¹、中濱 正統¹、小山 二三夫¹ (1.東工大未来研)

キーワード：面発光レーザ

面発光レーザを用いたビーム掃引デバイスはLiDARなどへの応用が期待されている． DBR導波路を用いて波長を可変することでビーム掃引を行い，解像点数1000点以上になることが確認されている．また表面回折格子を装荷したVCSELで0.5W以上の光出力の光偏向器集積光源を実現している．.本研究は，高出力かつ高解像度な非機械式ビーム掃引デバイスの実現を目的として，回折格子を装荷した波長可変面発光レーザの試作と評価を行った．