PDF ダウンロード スケジュール 32 いいね! 0 コメント (0) 13:30 〜 13:45 [19p-Z25-3] コンタクトレス光電気化学エッチングによるリセスゲート AlGaN/GaN HEMT の作製 (2) 〇(DC)渡久地 政周1、三輪 和希1、堀切 文正2、福原 昇2、成田 好伸2、市川 磨2、磯野 僚多2、田中 丈士2、佐藤 威友1 (1.北大量集センター、2.サイオクス) キーワード:光電気化学、エッチング、窒化物半導体