[19p-Z29-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [19p-Z29-11] ANNポテンシャルを用いたSi結晶中の原子空孔クラスターに関する大規模計算(2)

〇(M1)後口 拓登¹、横井 達矢²、野田 祐輔³、神山 栄治⁴、大櫃 万聖¹、永倉 大樹¹、末岡 浩治⁴ (1.岡山県大院情報系工、2.名古屋大院工、3.金沢学院大経済情報、4.岡山県大情報工)

キーワード：シリコン、原子空孔、深層学習

シリコン結晶内の微小な欠陥は，実験で検出することが難しいため，計算機による解析が有効である．機械学習を用いて開発した原子間ポテンシャルでは，精度良く，かつ低い計算コストで解析を行うことができる．今回は，第一原理計算の学習データとして分子動力学法（DFT-MD）や表面モデルの計算結果を追加し，ANNポテンシャルの適用範囲の拡大と，さらなる精度の向上を目指した．