[19p-Z29-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

△ [19p-Z29-5] ナノビームX線回折によるHVPE-GaNバルク結晶における単独貫通転位周辺の局所歪解析

〇濱地 威明¹、藤平 哲也¹、林 侑介¹、宇佐美 茂佳²、今西 正幸²、森 勇介²、隅谷 和嗣³、今井 康彦³、木村 滋³、酒井 朗¹ (1.阪大院基礎工、2.阪大院工、3.JASRI)

キーワード：窒化ガリウム、貫通転位、X線回折