[19p-Z29-1~13] 15.7 結晶評価，不純物・結晶欠陥

[19p-Z29-6] 異なる多孔度を持つPorous Si基板に成長したGaAs膜中の応力緩和の評価

〇小林 謙太¹ (1.宮崎大学)

キーワード：多孔質 Si、応力