09:30 〜 11:30 [22a-P04-8] ビニル基含有原料で作製したSiO:CH微粒子堆積膜の成膜時間依存性 〇中泉 有稀1、井上 泰志1、高井 治2 (1.千葉工大院工、2.関東学院大材料表面研)