09:30 〜 09:45
〇三村 英俊1、Leonid Bolotov2、坂井 佑之輔1、山本 哲夫1、佐々木 隆史1、内田 紀行2 (1.(株)KOKUSAI ELECTRIC、2.産総研デバイス技術研)
三村 英俊
発表者・著者、共著者
2022年9月20日(火) 09:00 〜 11:30 A406 (A406)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 13 半導体
- | 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術
2022年9月20日(火) 09:00 〜 11:30 A406 (A406)
09:30 〜 09:45
〇三村 英俊1、Leonid Bolotov2、坂井 佑之輔1、山本 哲夫1、佐々木 隆史1、内田 紀行2 (1.(株)KOKUSAI ELECTRIC、2.産総研デバイス技術研)