10:00 〜 10:15 [22a-A404-3] 電界電子放出機構によるドライエッチング装置用電子放出源の開発 〇下位 法弘1、寺嶋 亮2、檜森 慎司2 (1.東北工大工、2.東京エレクトロン宮城㈱)