14:00 〜 14:15 [20p-C306-3] 4H-SiCエピ層のハーフループアレイから拡張する二重菱形単一ショックレー型積層欠陥の合体 〇西尾 譲司1、太田 千春1、飯島 良介1 (1.東芝研開センター)