15:15 〜 15:30 [20p-C306-8] キトサン/ダイヤモンド複合マイクロビーズによるSiCウェハのOne-Step鏡面化 〇吉田 恭平1、古賀 正樹2、清水 隆邦2、高藤 誠3、永岡 昭二1,4 (1.熊本産技セ、2.濱田重工(株)、3.熊大院先科研、4.熊大創生)