14:15 〜 14:30 △ [21p-B203-5] ミストCVD法によるβ-Fe2O3バッファ層を用いたδ-Ga2O3のエピタキシャル成長 〇加藤 貴大1、西中 浩之1、島添 和樹1、吉本 昌広1、鐘ケ江 一孝1 (1.京工大)