15:15 〜 15:30 [20p-B103-7] スパッタ法で作製した (Al,Sc)N薄膜中の不純物酸素の検討 〇長谷川 浩太1,2、清水 荘雄2、大澤 健男2、坂口 勲1,2、大橋 直樹1,2,3 (1.九大院総理工、2.物材機構、3.東工大)