10:00 〜 10:15 [21a-C200-5] THVPE法におけるInGaN薄膜成長の膜厚制御性とヘテロ構造の検討 〇小林 伊織1、江間 研太郎1、山田 千帆1、山口 智広2、村上 尚1 (1.東京農工大学、2.工学院大学)