16:45 〜 17:00 △ [20p-B204-13] 真空紫外光照射によるエピタキシャル酸化コバルト薄膜の結晶相変化 〇金子 健太1、庄司 拓貴1、喬 宇馳1、大賀 友瑛1、金子 智2,1、吉本 護1、松田 晃史1 (1.東工大物質理工、2.神奈川産技総研)