15:15 〜 15:30 △ [20p-B201-7] スパッタ法によるAlN/AlxGa1-xNヘテロ構造への高濃度縮退n+-AlGaN (d-AlGaN) オーミックコンタクトの形成 〇(D)前田 亮太1、西川 祐人1、上野 耕平1、小林 篤1、藤岡 洋1 (1.東大生研)