14:15 〜 14:30 [20p-C306-4] 【注目講演】プロトン注入によるSiCエピタキシャル層の基底面部分転位の運動抑制 〇原田 俊太1、坂根 仁2、三井 俊樹3、加藤 正史3 (1.名古屋大、2.住重アテックス、3.名工大)