14:00 〜 14:15 [22p-B104-3] 変位電流測定法を用いた有機蒸着薄膜中のイオン性不純物検出 〇(M2)岩田 拓朗1、井上 勝2、大籔 範昭3、大平 圭介1、村田 英幸1 (1.北陸先端大、2.TOYOTech、3.東陽テクニカ)