10:45 〜 11:00
〇(M1)牧野 祐大1、川上 烈生1、柳谷 伸一郎1,2、新部 正人3、中野 由崇4、向井 孝志5 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.兵庫県立大、4.中部大、5.日亜化学)
牧野 祐大
発表者・著者、共著者
2022年9月23日(金) 09:00 〜 11:45 B101 (B101)
- 一般セッション(口頭講演)
- | 8 プラズマエレクトロニクス
- | 8.2 プラズマ成膜・エッチング・表面処理
2022年9月23日(金) 09:00 〜 11:45 B101 (B101)
10:45 〜 11:00
〇(M1)牧野 祐大1、川上 烈生1、柳谷 伸一郎1,2、新部 正人3、中野 由崇4、向井 孝志5 (1.徳島大理工、2.徳島大pLED、3.兵庫県立大、4.中部大、5.日亜化学)