13:45 〜 14:00 △ [22p-C200-2] p-AlGaN層コンタクト抵抗のAlNモル分率依存性 〇(M1)高畑 勇汰1、可知 朋晃1、岩月 梨恵1、石黒 永孝1、上山 智1、竹内 哲也1、岩谷 素顕1、永田 賢吾2、奥野 浩司2、斎藤 義樹2 (1.名城大理工、2.豊田合成)