15:00 〜 15:15 △ [21p-A202-7] SOI 微小電気機械システム共振器による室温動作するテラヘルツ検出器の開発 〇江端 一貴1、飯森 未来1、諸橋 功2、張 亜1 (1.農工大工、2.情報通信研究機構)