10:00 〜 10:15 △ [23a-B101-5] ドロップレットフィルタ兼用陽極を用いた直流フィルタードアーク蒸着によるTiN膜形成 〇鬼頭 純平1、橋本 侑樹1、税木 善則1、坂東 隆宏1、針谷 達1、滝川 浩史1、儀間 弘樹2 (1.豊橋技科大、2.オーエスジーコーティングサービス)